Mott 過濾器 擴散器 限流器 氣體分布器Mott高純產(chǎn)品簡介Mott 過濾器 擴散器 限流器 氣體分布器Mott高純產(chǎn)品簡介Mott 過濾器 擴散器 限流器 氣體分布器Mott高純產(chǎn)品簡介Mott 高純產(chǎn)品簡介
Mott為半導(dǎo)體制造提供全金屬過濾器、最先進的擴散器、及創(chuàng)新的限流器，應(yīng)用于高純制造的全金屬過濾器最為廣泛，合金材料的選擇包括316L不銹鋼、鎳及Hastelloy?; C-22以確保其化學(xué)兼容性，Mott提供全套的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品，為半導(dǎo)體制造提供最優(yōu)解決方案。

產(chǎn)品包括：
在線式使用點全金屬過濾器 - GasShield?; POU使用點過濾器有超過二十種標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計產(chǎn)品，最大流量可達600slpm，最大入口壓力可達5000psig.
IGS表面安裝過濾器 – Mott提供全系列的表面安裝過濾器及限流器，與機臺、氣柜、閥件箱等氣體系統(tǒng)接口完全兼容，流量范圍為10 ~ 100slpm.
GasShield?; PENTA?; POU 使用點過濾器 – 適用于大流量應(yīng)用，Mott Penta獨特的大流量鎳多孔金屬過濾介質(zhì)具有真正的9-Log顆粒過濾效率及低△P特性.

廠務(wù)大流量過濾器 – Mott提供高強度、全金屬過濾器用于更大流量場合，最大流量為1500slpm.
大宗氣體過濾器 – 流量范圍為1000slpm ~ 25,000slpm，316L不銹鋼或鎳多孔金屬過濾介質(zhì)，高壓、強腐蝕性氣體大流量過濾系統(tǒng)可定制。
墊片式過濾器 – 非常緊湊型設(shè)計,內(nèi)置于1/4”VCR或1/2”VCR管路,安裝后不增加管線長度,標(biāo)準(zhǔn)流量為1、3、20slpm.
限流器 – 多孔金屬永久恒定流量，標(biāo)準(zhǔn)管路接口，可靠、經(jīng)濟的流量控制，克服了MFC、針閥、及限流片等諸多缺點，下游流量控制范圍100 slpm 至 <1 x 10-6 sccm.1 x 10-6 sccm.
氣體擴散器 – Mott多孔金屬氣體擴散器均勻分散的吹掃氣體以保證均勻一致的平流氣流，消除湍流氣體進入EFEM、Load-Lock、硅片轉(zhuǎn)移腔、及工藝腔體對顆粒物的擾動所造成的顆粒污染。

Mott多孔金屬產(chǎn)品突出優(yōu)點：
獨特的大流量多孔金屬鎳過濾介質(zhì) - GasShield PENTA 使用點過濾器具有大流量及低壓降特點，極低的壓降與極薄Teflon-PTFE濾膜相當(dāng)，且更具有Mott專利多孔金屬極高強度、極高顆粒過濾效率、及長使用壽命的優(yōu)點。

均勻一致、極高精度的多孔材料孔徑 – Mott專利NanoMetal多孔金屬技術(shù)，極致精確度的孔徑控制。

深層過濾 – 高壓及燒結(jié)工藝使得多孔材料內(nèi)部孔隙無序分布，錯綜復(fù)雜的氣體通路使得Mott多孔金屬過濾材料更加有效的攔截、俘獲各種尺寸的顆粒，足夠厚度的多孔金屬材料使得顆粒攔截俘獲更加高效可靠。

無材料轉(zhuǎn)移 – Mott多孔金屬材料之間屬于高壓高溫固態(tài)擴散焊合，材料間極強的分子級粘附力使得Mott多孔金屬材料極其堅固，即便是在極端條件下使用也牢不可摧。

耐高溫 – 全金屬、完全焊接結(jié)構(gòu)，最高耐受溫度450°C

耐腐蝕 – Mott過濾器、擴散器、及氣體分布器等使用316L不銹鋼、金屬鎳、及Hastelloy C-22等材料，極耐腐蝕。

耐高壓差 – 最高耐受5000psig入口壓力，△P 1000psid 最大壓差。

多種材料及產(chǎn)品選擇 – 多孔金屬過濾材料包括316L不銹鋼,，Hastelloy C-22 (哈氏合金)，以及PENTA 鎳，具有廣泛的化學(xué)兼容性，過濾器、擴散器、限流器、及氣體分布器等豐富產(chǎn)品線，適合各種不同用途。

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